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型號 | SID4-HR |
孔徑 | 8.9 × 11.8 mm2 |
空間分辨率 | 29.6 μm |
采樣點/測量點 | 400 × 300 |
波長 | 400 nm ~ 1100 nm |
動態(tài)范圍 | > 500 μm |
精度 | 15 nm RMS |
靈敏度 | < 2 nm RMS |
采樣頻率 | > 10 fps |
處理頻率 | 3 Hz (高分辨率) |
尺寸 | 54 × 46 × 79 mm |
重量 | 250 g |
1. 技術特點
◆高分辨率(高達300 x400個采樣點)
◆消色差
◆高動態(tài)范圍
◆高靈敏度
◆操作簡便
◆設計簡潔緊湊
◆高性價比
2.技術優(yōu)勢
◆高分辨率的相位圖
能夠提供高分辨率的相位圖。最高分辨率可達400x300。高分辨率的探測器能精確測量鏡片像差,并能做到較高的測量重復性。
◆具有直接測量高發(fā)散光束的能力
我們的波前探測技術具有直接測量光路系統(tǒng)相差的能力,并且無需額外的過渡鏡(參見下圖)。校準后的光束通過鏡片后直接測試。探測器可以測量波前傳輸時球面波的偏差。盡管有極大的光束偏差(如數(shù)值孔徑高達0.75),仍然可以做到光路系統(tǒng)與探測器間不使用過渡鏡就能測試。
◆消色差
SID4探測器能夠匹配CCD整個探測范圍,用于不同波長光而無需額外校準,也能用于多色光源。
◆對準方便
SID4傳感器無需精確的,很繁冗的校準步驟。分析算法為校準波前探測器提供便利。當布好探測器和光源后,光路系統(tǒng)測試部分可以直接放在光源和SID4探測器之間。并且,也可以很容易的調(diào)整光路系統(tǒng)以便于測試,還省去了使用過渡鏡以及用它帶來的光路位置調(diào)整和相差消除的麻煩。
◆符合人體工程學原理
設計緊湊的SID4探測器配置了電腦和專用KALEO軟件,其友好的人機界面使光學測量過程更符合人體工程學原理。
◆光學測量專用的KALEO軟件
SID4探測器為光學測量配置了專用的Kaleo軟件。該軟件允許在一次測量中提供完整的測量項目的光學量值特征:相差,PSF,MTF,有效焦距等。定制的特征報告也可編輯。
成功案例:
單位 | 型號 |
中國科學院上海光學精密機械研究所 | SID4-HR |
蘇州大學 | SID4-HR |
清華大學 | SID4-HR |
中國計量院 | SID4-HR |
中國工程物理研究院 | SID4-HR |
長春理工大學 | SID4-HR |
中國科學院西安光學精密機械研究所 | SID4-HR |
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