uPG 101 

uPG 101 是很經(jīng)濟(jì)，容易去用微型發(fā)生器進(jìn)行直寫(xiě)應(yīng)用和低容量掩模制作的一個(gè)系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)可運(yùn)用的應(yīng)用有，微電子機(jī)械系統(tǒng)、生物微系統(tǒng)、集成光學(xué)、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統(tǒng)。他的面積很小只有60*1875px^2，獨(dú)特的緊湊結(jié)構(gòu)，使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個(gè)系統(tǒng)中。個(gè)人電腦可以用來(lái)控制這個(gè)系統(tǒng)，這個(gè)基于操作軟件的圖形用戶(hù)界面使用戶(hù)更容易去進(jìn)行設(shè)計(jì)，生成目錄，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和生成曝光。

重要特征選項(xiàng)

最小基板尺寸  6”x  6”

最小廟會(huì)尺寸0.6um

最小描繪網(wǎng)格20nm

基本灰度曝光模式

實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)或者紫外二級(jí)管激光源

矢量和柵格曝光模式

可交換的寫(xiě)模式

攝像系統(tǒng)的一致性

多種數(shù)據(jù)輸入模式

技術(shù)參數(shù)

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